渦旋無油真空泵技術現狀與發展趨勢

1、引言

　　渦旋無油真空泵的概念相當久遠，20世紀初世界上就已經有了渦旋技術的專Li。但由于當時技術水平的限制，渦旋無油真空泵機構制造不出來，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機構被重新提起并制造出第Yi臺模型機構，使這項技術實際應用成為可能。渦旋機構的可靠性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優勢馬上引起了冰箱行業的重視和迫切需求，大受行業Lin先者青睞，迅速被投入工業化應用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機技術與產品弓領了世界渦旋技術實用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調等諸多行業的技術進步和產品的更新換代。

　　今天渦旋技術已經由初期的應用在壓縮機行業推廣到真空泵制造業，實現了全無油真空泵、運行更平穩、噪音更低、更加節省能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用渦旋概念與原理制造出了對真空應用儀器設備和環境沒有污染，并且抽速、壽命、能耗等指標均優于普通油泵的單級、雙級渦旋無油真空泵系列產品。

　　上個世紀90年代初，世界上Shou臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術由此開始作為一種新型真空獲得技術在世界范圍內被推廣應用。到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產廠家集中在美國、日本和歐洲，以日本的Anest1wata、美國的Varian、德國的Bush等為代表。產品包括了自0.25L／S-1OL／S系列產品，有些15L／S或更大抽氣量的產品也在試驗階段。

　　2、渦旋無油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的特點與應用領域

　　清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境。自能夠創造真空環境開始，人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果。時Zhi今日，清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品。在現有的無油真空泵當中，渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運行平穩、噪音低、節省能源、重量輕、體積小的特點并已經被廣泛應用到下述科學研究與生產領域：①半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；②真空冶金行業——真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備；③科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；④醫Liao設備——牙科儀器、透析機；⑤生物制品行業——材料提純、藥品制備；⑥包裝行業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。

　　3、渦旋無油真空泵工作原理、技術指標以及與普通油泵的對比

　　渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了渦旋無油真空的基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向對應的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉動渦旋盤。無油真空泵動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環。